X-RAY熒光光譜儀就是由x射線光管發生的一次x射線激發樣品，試樣可以被激發出各種波長的特征x射線熒光，需要把混合的x射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的x射線的強度，以進行定性和定量分析的方法。
X-RAY熒光光譜儀是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。
X-RAY熒光光譜儀具有吸收光子能力的物質在特定波長光(如紫外光)照射下可在瞬間發射出比激發光波長長的熒光，利用物質進行定性、定量分析的方法稱為熒光分析法。輻射峰的波長與強度包含許多有關樣品物質分子結構與電子狀態的信息，但外界因素對其熒光強度結果有一定的影響。當某些物質受到紫外線照射時，會發射出各種顏色和不同強度的可見光，當紫外線停止照射時，所發射的光線會隨即消失，人們將這種光線稱為熒光。熒光由一種能發熒光的物質-螢石而得名。熒光的產生主要包括物質分子對光能的選擇性吸收、激發和分子的去活化三個過程。
X-RAY熒光光譜儀的使用安全規則：
1、安裝和維護須由受培過訓的人來實施。
2、安全設施不能由未受培訓的人員來處理。
3、用戶須做到：按當地的安全規則來處理和操作系統。
4、所有的X-ray分析系統須定期用合適的儀器檢查。
5、一旦設備處于不安全狀態，須切斷電源，并在設備上張貼“不得使用”字樣。
6、操作人員須佩帶個人劑量牌。
7、所有操作人員知道安全的必要性。
8、校正、調整、維修和更換X射線管須由受過培訓的人員來實施。
